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]. 国防工业出版社, 1992.相关阅读XPS(X射线光电子能谱仪)|基本原理简介(一)XPS(X射线光电子能谱仪)|数据处理(二)XPS(X射线光电子能谱仪)|说说“单色化”与“分辨率”(三)撰稿人:王文昌
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,则可以实现对样品的深度分析。对于固体样品,除了氢、氦之外的所有元素都可以使用XPS 进行分析。三、仪器组成光电子能谱仪具有相似的系统组成,如图所示,一般都含有进样室、X 射线激发源、超高真空系统、电子能量分析器、计算机数据采集系统等。在
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一、超高真空系统超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。XPS谱仪的激发源,样品分析室及探测器等都安装在超高真空系统中。通常超高真空系统的真空室由不锈钢材料制成,真空度优于1×10-9 托。在X射线光电子能谱仪中必须采用超高真空
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的Si2p谱。[1]岛津新型光电子能谱仪AXIS Supra+拥有高性能的单色器配置,罗兰圆直径达500mm,通常采用Ag 3d5/2的半峰宽来评判XPS仪器的分辨率,单色化X射线源可使得Ag 3d5/2的分辨率(半峰宽)由1eV左右提升
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XPS方法的理论基础是爱因斯坦光电定律。用一束具有一定能量的X射线照射固体样品,入射光子与样品相互作用,光子被吸收而将其能量转移给原子的某一壳层上被束缚的电子,此时电子把所得能量的一部分用来克服结合能和功函数,余下的能量作为它的动能而发射
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只有表面处的光电子才能从固体中逸出,因而测得的电子结合能必然反应了表面化学成份的情况。这正是光电子能谱仪的基本测试原理。 X射线光电子能谱分析的特点: 当用电子束激发时,如用AES法,必须使用超真空,以防止样品上形成碳的沉积物而
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X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的
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何异同? a. EDS与XPS的相同点:两者均可以用于元素的定性和定量检测。 b. EDS与XPS的不同点: 1) 基本原理不一样: 简单来说,XPS是用X射线打出电子,检测的是电子;EDS则是用电子打出X射线,检测的是X射线。 2
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X射线光电子能谱,简称XPS,别称ESCAX射线光电子能谱学是近四十年来发展起来的一门综合性学科。它与多种学科相互交叉,融合了物理学,化学,材料学,真空电子学,以及计算机技术等多学科领域。现代X射线光电子能谱学已经发展为一门独立的,完整的
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强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得待测物组成。 系统组件 一台商业制造的XPS系统的主要组件包括: *X射线源 *超高真空不锈钢舱室及超高真空泵 *电子收集透镜 *电子能量分析仪 *μ合金磁场